[发明专利]波长可变滤光器、波长可变滤光器的控制方法及记录介质

摘要

本发明提供一种在波长可变滤光器中使变更透过光的波长的控制稳定的波长可变滤光器及其控制方法以及记录介质。本发明对具备对置的两个反射膜、和改变它们的相对位置的致动器部的波长可变滤光器进行控制。致动器部具备根据两个反射膜之间的目标距离而被驱动的第一致动器、和根据目标距离与两个反射膜的距离的检测值而被反馈控制的第二致动器。控制方法具备：(a)接收两个反射膜间的新的目标距离的工序；(b)根据新的目标距离来驱动第一致动器的工序；(c)根据新的目标距离和两个反射膜的距离的检测值来反馈控制第二致动器的工序。在被预先规定的条件被满足的情况下，在工序(b)开始后、且经过了被预先规定的阈值时间后，开始工序(c)。