[发明专利]运料机构、清洗系统和片材的转运方法在审

专利信息
申请号: 202111551430.9 申请日: 2021-12-17
公开(公告)号: CN114300385A 公开(公告)日: 2022-04-08
发明(设计)人: 许峯嘉;徐柏翔;蔡嘉雄 申请(专利权)人: 创微微电子(常州)有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/677
代理公司: 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343 代理人: 王丹玉;汪海屏
地址: 213133 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提出了一种运料机构、清洗系统和片材的转运方法;运料机构包括至少一个存储装置、中转装置和翻转装置;存储装置位于第一工位,存储装置用于存放片材;中转装置位于第二工位,中转装置用于在存储装置中取放片材;翻转装置位于第三工位,翻转装置一方面用于承接中转装置中的片材,或转运片材至中转装置中,另一方面用于调整片材的放置方向;其中,第一工位、第二工位、第三工位依次设置。通过本申请提出的运料机构对片材转运,实现了片材的自动转运,进而可以提升运料机构对片材转运的自动化程度,节省了人力,保证了人身安全,也减少了环境条件对设备的影响以及对设备工艺效果的影响。
搜索关键词: 机构 清洗 系统 转运 方法
【主权项】:
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