[发明专利]纳米结构显影装置、显影方法及应用在审
| 申请号： | 202111561103.1 | 申请日： | 2021-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN114236979A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 王纯配;张忠山;乔东海;岳春峰 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 张金铭 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市相城区高铁新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种纳米结构显影装置、显影方法及应用，涉及光刻技术领域。本发明提供的纳米结构显影装置，包括依次连通的液体容器、液体小分子发生器、样品室和废液收集装置，其中，液体容器中能够存储显影液或定影液，液体小分子发生器能够将来源于液体容器中的液体变成小分子非流动液体，废液收集装置能够将这些小分子非流动液体回收，小分子非流动液体形式的显影液到达样品表面后，曝光区的光刻胶会溶解于小分子非流动液体中，从而实现对样品的显影，显影结束后，再用小分子非流动液体形式的定影液进行定影操作，该纳米结构显影装置避免了显影或定影过程中液体的粘滞力会导致结构移位和倒塌的问题，能够实现高深宽比纳米光刻胶结构显影。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 结构 显影 装置 方法 应用 | ||
【主权项】：
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