[发明专利]电镀装置中的短路检测方法、电镀装置的控制方法及电镀装置在审
| 申请号： | 202111561734.3 | 申请日： | 2021-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN114808085A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 若林秀树;佐藤天星;出口和摩 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00;C25D21/12;G01R31/52 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 胡乃锐 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种短路检测方法，在电镀装置中，在不浪费地使用基板的情况下检测整流器与电镀槽之间的布线的短路。在从整流器向基板供给电流来对基板进行电镀的电镀装置中，短路检测方法包括：在不将基板及保持有基板的基板保持架与整流器电连接的状态下，从整流器输出规定电流值的电流的步骤；取得整流器的输出电压值的步骤；将输出电压值与规定的基准电压值进行比较的步骤；以及在输出电压值比基准电压值低的情况下，判定为在用于将基板与整流器连接的电路中发生了短路的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 电镀 装置 中的 短路 检测 方法 控制 | ||
【主权项】：
暂无信息
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