[发明专利]一种带平台透镜的波前测试方法及装置在审

专利信息
申请号: 202111584383.8 申请日: 2021-12-22
公开(公告)号: CN114323582A 公开(公告)日: 2022-04-12
发明(设计)人: 王凯亮;衣丽霞;梅珊珊 申请(专利权)人: 光皓光学(江苏)有限公司
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 南京创略知识产权代理事务所(普通合伙) 32358 代理人: 葛轶强
地址: 212000 江苏省镇江市镇*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及透镜检测技术领域,具体为一种带平台透镜的波前测试方法及装置,包括以下步骤:步骤一:干涉光路测试:干涉仪主机形成干涉条纹;步骤二:发射镜校正:使干涉仪主机和平面反射镜处于平行状态;步骤三:透镜安装:安装干涉仪物镜和测试夹具上;步骤四:透镜检测:打开干涉仪主机进行检测便可。本发明调整平面反射镜的俯仰倾斜角度,将条纹调至零级状态,使干涉仪主机和平面反射镜之间处于平行状态,然后安装干涉仪物镜,将测试透镜平放在测试夹具内,再将测试夹具平放在平面反射镜上,测试透镜和测试夹具之间不会产生倾斜,测试夹具和反射镜之间紧密贴合,不会引入由于安装调节不到位而引入的倾斜,解决带平台透镜波前的快速测量问题。
搜索关键词: 一种 平台 透镜 测试 方法 装置
【主权项】:
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