[发明专利]一种蚀刻液组合物及其制备方法有效
| 申请号： | 202111584490.0 | 申请日： | 2021-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN114318340B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 卢燕燕;张丽燕 | 申请（专利权）人： | 惠州达诚微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18;H01L21/3213 |
| 代理公司： | 广东金泰智汇专利商标代理事务所(普通合伙) 44721 | 代理人： | 江丽娇 |
| 地址： | 516000 广东省惠州市惠阳区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蚀刻液组合物及其制备方法，属于蚀刻液组合物领域。所述组合物包括：过氧化氢、络合剂、有机酸、盐酸、硝酸、无机盐、铜缓蚀剂、过氧化氢稳定剂和水。所述蚀刻液组合物具有蚀刻后的形貌良好，无存在残留，且对ITO无伤害，蚀刻速率的稳定性好，安全性好，过氧化氢稳定性好等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 组合 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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