[发明专利]一种新型的声表面波滤波器结构及其制备方法在审
| 申请号： | 202111584898.8 | 申请日： | 2021-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN114421922A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 董波 | 申请（专利权）人： | 西安聚安光科物联网科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64;H03H3/08;H03H9/02;H03H9/145 |
| 代理公司： | 深圳尚业知识产权代理事务所(普通合伙) 44503 | 代理人： | 王利彬 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市高新区*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种声表面波滤波器结构及其制备方法，包括：声表面波滤波器的阶梯型的叉指和反射栅结构；利用双光子聚合工艺制备该结构的工艺方法：第一掩膜版和第二掩膜版均包括镂空型的多个插指电极和反射栅；将所述第一掩膜版置于压电晶体表面进行对版并镀膜得到初始的插指电极和反射栅；按照预设的阶梯电极偏差尺寸将所述第二掩膜版与第一掩模版进行对版然后进行二次镀膜，得到具有预设周期的多个阶梯型的插指电极和反射栅。节约了设计声表滤波器的工艺流程和成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 表面波 滤波器 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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