[发明专利]基板清洗装置及基板的清洗方法在审
| 申请号： | 202111590195.6 | 申请日： | 2021-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN114682547A | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 及川文利;深谷孝一;马场枝里奈;末政秀一;中野央二郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B3/12;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 张丽颖 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种基板清洗装置及基板的清洗方法。基板清洗装置具备：旋转机构，该旋转机构使基板旋转；清洗液供给喷嘴，该清洗液供给喷嘴向所述基板的表面喷出施加了超声波振动的清洗液；以及摆动机构，该摆动机构使所述清洗液供给喷嘴从所述基板的旋转中心附近朝向所述基板的外周端在比所述基板的半面窄的范围内摆动。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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