[发明专利]一种用于靶材的旋转顶升系统及其工作方法在审
| 申请号： | 202111596673.4 | 申请日： | 2021-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN114045469A | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | 刘振波;茹钰婷;郭小勇;邢珍帅;赵启焕 | 申请（专利权）人： | 湖州爱康光电科技有限公司;浙江爱康光电科技有限公司;江苏爱康科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34 |
| 代理公司： | 江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙) 32309 | 代理人： | 隋玲玲 |
| 地址： | 313100 浙江省湖州市长兴县煤山镇*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于靶材的旋转顶升系统及其工作方法，属于太阳能电池制造的技术领域。它包括旋转轴和顶升轴；所述旋转轴和顶升轴均设置在固定块内，所述旋转轴和顶升轴上均沿螺旋状排布设置有螺旋叶片，所旋转轴与顶升轴的螺旋叶片之间为啮合结构，并在固定块的内侧壁上设置有与螺旋叶片结构匹配的螺旋状卡齿；所述顶升轴的顶部设置靶材孔，所述靶材孔包括靶材放置位和顶升位；所述顶升位的内径与顶升轴相匹配；所述靶材放置位的内径大于顶升位，且与靶材相匹配；所述顶升位上方的一侧设置离子枪。本发明采用旋转顶升方式，在顶升靶材时，使靶材旋转上升，使靶材圆柱体旋转，各面都均匀燃烧，提高了靶材的利用率，还解决了透明导电膜色差问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 旋转 系统 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
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