[发明专利]一种金属薄膜表面白点改善的方法在审
| 申请号： | 202111600384.7 | 申请日： | 2021-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN114369791A | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 牛江伟;席燕飞;蒋肖 | 申请（专利权）人： | 重庆四联特种装备材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/10;C23C14/18 |
| 代理公司： | 重庆飞思明珠专利代理事务所(普通合伙) 50228 | 代理人： | 苏娟 |
| 地址： | 400700 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学元件领域，具体涉及一种金属薄膜表面白点改善的方法，包括：采用无水乙醇、乙醚和碳酸钙对基底进行清理；用等离子体辅助PVD方法在基底上依次沉积Cr粘接层和Cu反射层；在Cu反射层上沉积SiO2保护层。首先通过沉积一层粘接层，增加基底和Cu或者Al膜的结合力，在沉积Cu或者Al膜采用离子源轰击，使该金属膜层的凸起变平，使其表面质量更好，有效减少白点的数量，提高其反射率。再在金属膜外镀一层氧化物硬质保护膜，增加了反射膜的硬度，保证其通过环境试验。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 薄膜 表面 白点 改善 方法 | ||
【主权项】：
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