[发明专利]一种晶圆烘箱有效
| 申请号： | 202111603307.7 | 申请日： | 2021-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN114459217B | 公开（公告）日： | 2023-08-11 |
| 发明（设计）人： | 高局;罗立辉;陈建江;潘超超 | 申请（专利权）人： | 宁波芯健半导体有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/06 | 分类号： | F26B9/06;F26B25/06;F26B21/14;F26B25/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315336 浙江省宁波市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种晶圆烘箱，包括烘箱箱体，所述烘箱箱体内开设有开口位于一侧的烘干腔，所述烘箱箱体于所述烘干腔内水平滑移插入有烘干支架，所述烘干支架中部竖直开设有贯通的加热通槽，所述烘干支架于所述加热通槽的两侧壁均匀开设有供晶圆竖直插入的安装插槽，所述烘箱箱体于所述烘干腔底部开设有氮气注入口，所述烘箱箱体于所述氮气注入口处设置有过滤组件，所述烘箱箱体于所述烘干腔远离开口的一侧壁开设有排气口，所述烘箱箱体外侧壁设置有连通于所述排气口的排气管道。本申请具有提高对晶圆的热处理效果等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 烘箱 | ||
【主权项】：
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