[发明专利]抽气环及半导体处理装置在审
| 申请号： | 202111618012.7 | 申请日： | 2021-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN114464519A | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 柳雪;柴智;侯彬;赵婷婷 | 申请（专利权）人： | 拓荆科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C16/44;C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 黄海霞 |
| 地址： | 110171 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明揭露一种抽气环，适用于半导体处理装置的腔体中，包含：一第一环形通道；及一第二环形通道，与所述第一环形通道迭层配置，且所述第一环形通道与所述第二环形通道经由多个孔相互连通。此外本发明还揭示了一种半导体处理装置。 | ||
| 搜索关键词： | 抽气环 半导体 处理 装置 | ||
【主权项】：
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