[发明专利]阻抗匹配调节方法、装置、射频电源系统和存储介质有效
| 申请号： | 202111618347.9 | 申请日： | 2021-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN114448376B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 乐卫平;林伟群;张桂东 | 申请（专利权）人： | 深圳市恒运昌真空技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H7/38 | 分类号： | H03H7/38;H05H1/24 |
| 代理公司： | 深圳市辰为知识产权代理事务所(普通合伙) 44719 | 代理人： | 唐文波 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区西乡街道铁*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种阻抗匹配调节方法、装置、射频电源系统和存储介质，采集射频电源系统中的阻抗匹配网络和负载之间的入射波和反射波，获取入射波和反射波之间的幅值差值信号和相角差值信号，根据幅值差值信号和幅值差值信号生成电容控制信号，通过电容控制信号对阻抗匹配网络中的至少一个可调电容的电容值进行调整；其中，阻抗匹配网络为中点连接型的X型阻抗匹配网络，基于调整后的至少一个可调电容，调节阻抗匹配网络的阻抗；通过采用X型阻抗匹配网络，并采取可变电容的方法改变阻抗，调节过程平滑，调节速度快，负载变化范围大，使得负载和阻抗匹配网络的总阻抗与输入阻抗一致，以达到阻抗匹配的目的，进而提高阻抗调节的精度和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 阻抗匹配 调节 方法 装置 射频 电源 系统 存储 介质 | ||
【主权项】：
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