[发明专利]一种电致变色专用镀膜设备在审
| 申请号： | 202111635197.2 | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN114427076A | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 徐旻生;张永胜;庄炳河;张晓鹏;伍发根;杨凤鸣 | 申请（专利权）人： | 深圳奥卓真空设备技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/34;C23C14/56;C23C14/08 |
| 代理公司： | 深圳市圳博友邦专利代理事务所(普通合伙) 44600 | 代理人： | 王玲玲 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区坂田街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电致变色专用镀膜设备，属于电致变色材料加工技术领域。本发明包括依次真空密封联接并相互独立的进片室、离子储存层制程室、第一搬运室、离子交换层制程室、第二搬运室、阴极变色层制程室和出片室，每个腔室均设有独立的门阀和真空泵；基片架：用于放置待处理的基板；搬运系统：包括依次穿过生产线的导轨、升降机构、真空泵、门阀、夹紧机构、传感器与动力组件；中央控制系统：用于控制整条生产线运行。本发明的三个制程室与进片室、出片室、搬运室串联起来，实现整个工艺的连续性，避免了产品反复破空后再进行另外一道工序的镀膜，节省时间提高效率，提升离子交换层的膜质，保障产品变色响应时间稳定保持在亚秒量级。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 变色 专用 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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