[发明专利]一种蒸发镀膜装置在审
| 申请号： | 202111639329.9 | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN114059021A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 张秀明;张贻海;李剑;王丽娟;孟凡华 | 申请（专利权）人： | 唐山斯腾光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/56;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京国贝知识产权代理有限公司 11698 | 代理人： | 尹晓强 |
| 地址： | 064106 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸发镀膜装置，包括蒸发舟和过滤件；所述过滤件盖置在所述蒸发舟上；所述蒸发舟内摞置有阻挡件；和/或，所述蒸发舟内摞置有内过滤件。所述蒸发舟包括蒸发舟‑底板、蒸发舟‑前侧板、蒸发舟‑后侧板、蒸发舟‑左侧板、蒸发舟‑左翼板、蒸发舟‑右侧板、蒸发舟‑右翼板；所述过滤件包括过滤件‑顶板，所述过滤件‑顶板的板面中部分布有过滤件‑孔；所述阻挡件包括阻挡件‑底板，所述阻挡件‑底板的前、后分别设置有阻挡件‑凹口；所述内过滤件包括内过滤件‑底板，所述内过滤件‑底板的板面中部分布有内过滤件‑孔。本发明可有效地阻挡住和/或过滤掉飞溅的微小颗粒，使气态的物理分子或离子蒸镀在工件上，大大提高了产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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