[发明专利]一种蒸镀装置在审
| 申请号： | 202111641823.9 | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN114318237A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 匡友元 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 方艳丽 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种蒸镀装置，坩埚包括坩埚本体、主喷嘴和副喷嘴，主喷嘴连通坩埚本体并可沿第一方向输出物料，副喷嘴连通坩埚本体并可沿第二方向输出物料，第二方向和第一方向交叉，主喷嘴和副喷嘴均用于朝向待蒸镀基板输出物料，通过设置沿第一方向和沿第二方向朝向待蒸镀基板输出物料的多个喷嘴，使得待蒸镀基板上正对应坩埚的区域和非正对坩埚的区域，均能够较好的形成蒸镀膜层，可以消除正对应坩埚区域的膜层厚度和非正对应坩埚区域的膜层厚度的差异，使得蒸镀膜层厚度均一，从而解决显示面板存在显示色差的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 | ||
【主权项】：
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