[发明专利]晶圆控片检测方法及装置在审
| 申请号： | 202111643222.1 | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN114332017A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 詹万鹏;屠礼明;张卫涛 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06K9/62;G06V10/764 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 陈丽丽 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种晶圆控片检测方法及装置。所述晶圆控片检测方法包括如下步骤：拍摄一待检测的晶圆控片的原始图像；根据所述原始图像获取所述晶圆控片的第一缺陷信息，所述第一缺陷信息包括多个缺陷类型、以及每一所述缺陷类型在所述晶圆控片上的位置；根据所述第一缺陷信息对所述晶圆控片进行电子束扫描，获取每一所述缺陷类型的缺陷图像。本发明提高了晶圆控片检测的效率和准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆控片 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
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