[发明专利]一种镀膜机基片架系统在审
| 申请号： | 202111644128.8 | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN114134479A | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 张心凤;夏正卫;刘洋;陈玉梅 | 申请（专利权）人： | 安徽纯源镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/56;C23C16/458;C23C16/54 |
| 代理公司： | 合肥九道和专利代理事务所(特殊普通合伙) 34154 | 代理人： | 胡发丁 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种镀膜机基片架系统，包括真空腔室，真空腔室上具有可进行启闭的室门，真空腔室内设置有用于安装基片的镀膜夹具的夹具架，真空腔室上具有用于调节夹具架进行转动的驱动机构，夹具架和驱动机构可拆卸式装配连接，夹具架和驱动机构处于拆卸状态时，夹具架可从打开的室门移出真空腔室。本发明提供的上述方案，通过将夹具架设置成可拆卸式结构，这样在真空腔室内进行镀膜时，可以对另一组夹具架装配夹具和待镀膜工件，从而提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 机基片架 系统 | ||
【主权项】：
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