[发明专利]一种单晶炉加热器自动升降机构有效

专利信息
申请号: 202111647896.9 申请日: 2021-12-30
公开(公告)号: CN114293245B 公开(公告)日: 2023-02-14
发明(设计)人: 曹玉宝;李欢;段世飞;李方;尹嘉琦;张忠涛 申请(专利权)人: 连城凯克斯科技有限公司
主分类号: C30B15/14 分类号: C30B15/14;B66F7/00;B66F7/28
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 214000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明属于单晶设备技术领域,具体的说是一种单晶炉加热器自动升降机构,包括炉底盘,炉底盘上板面架设有坩埚单元,炉底盘下板面设有升降单元;所述升降单元包括电机、丝杆、导向柱、载板、电极和加热线圈;所述坩埚单元包括外炉体和坩埚体;所述载板的下板面螺栓固接有固定块,丝杆的一端贯穿载板并传动连接固定块,丝杆的另一端固接电机的输出端,电机固接炉底盘的下板面;所述丝杆一侧设置导向柱,导向柱的一端固接炉底盘,导向柱的另一端滑动贯穿载板;所述载板与炉底盘之间安装有电极,电极的下端固接载板,电极的上端滑动贯穿炉底盘,并连接加热线圈。
搜索关键词: 一种 单晶炉 加热器 自动 升降 机构
【主权项】:
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