[发明专利]一种单晶炉加热器自动升降机构有效
申请号: | 202111647896.9 | 申请日: | 2021-12-30 |
公开(公告)号: | CN114293245B | 公开(公告)日: | 2023-02-14 |
发明(设计)人: | 曹玉宝;李欢;段世飞;李方;尹嘉琦;张忠涛 | 申请(专利权)人: | 连城凯克斯科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;B66F7/00;B66F7/28 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明属于单晶设备技术领域,具体的说是一种单晶炉加热器自动升降机构,包括炉底盘,炉底盘上板面架设有坩埚单元,炉底盘下板面设有升降单元;所述升降单元包括电机、丝杆、导向柱、载板、电极和加热线圈;所述坩埚单元包括外炉体和坩埚体;所述载板的下板面螺栓固接有固定块,丝杆的一端贯穿载板并传动连接固定块,丝杆的另一端固接电机的输出端,电机固接炉底盘的下板面;所述丝杆一侧设置导向柱,导向柱的一端固接炉底盘,导向柱的另一端滑动贯穿载板;所述载板与炉底盘之间安装有电极,电极的下端固接载板,电极的上端滑动贯穿炉底盘,并连接加热线圈。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 加热器 自动 升降 机构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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