[发明专利]一种新型的真空卷绕溅射单体机在审
| 申请号： | 202111648592.4 | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN114231938A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 张俊峰;赵子东;王栋权;魏庆瑄 | 申请（专利权）人： | 上海子创镀膜技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海尊肃专利代理事务所(普通合伙) 31454 | 代理人： | 李珍珍 |
| 地址： | 201506 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及真空镀膜技术领域，具体公开了一种新型的真空卷绕溅射单体机，包括真空腔室；所述真空腔室包括卷绕区和溅射区，卷绕区上安装有收放卷装置，收放卷装置安装在卷绕支架上，卷绕支架安装在移动架上；所述收放卷装置包括通过柔性材料相互连接的收放卷辊、张力辊、导向辊、水冷辊，收放卷辊通过双向旋转的收卷电机驱动，收卷电机的输出轴设置有磁粉制动器、行星齿轮减速机；所述水冷辊通过同步带轮、同步带的配合与伺服电机连接，张力辊连接有张力传感器；所述溅射区上设置有多个错位安装的平面阴极位。该设备在可调的恒定转速和可调的恒定张力下传送柔性材料材料，线速度恒定的情况下，镀膜张力控制效果好，从而使膜层镀覆均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 真空 卷绕 溅射 单体 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海子创镀膜技术有限公司，未经上海子创镀膜技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111648592.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种植物油基聚合物、组合物及其制备方法
- 下一篇：纯物理杀菌消毒系统
- 同类专利
- 专利分类
