[发明专利]存储器在审

专利信息
申请号: 202111653437.1 申请日: 2020-11-12
公开(公告)号: CN114334982A 公开(公告)日: 2022-04-12
发明(设计)人: 陈肯利;陈琮文 申请(专利权)人: 福建省晋华集成电路有限公司
主分类号: H01L27/108 分类号: H01L27/108;H01L21/8242;H01L21/768
代理公司: 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 代理人: 郑星
地址: 362200 福建省泉州*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明提供了一种存储器。利用位线和绝缘线界定出节点接触窗,并使填充在节点接触窗中的接触插塞还向上凸出节点接触窗,并进一步利用间隔结构间隔相邻的接触插塞,以及所述间隔结构中还形成有第一空隙,如此即有利于降低相邻的接触插塞之间的介质材料的介电常数,有效改善器件的寄生效应。
搜索关键词: 存储器
【主权项】:
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