[发明专利]抛光设备和抛光方法在审
| 申请号： | 202111654099.3 | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN114290231A | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 白宗权 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B57/02;B24B7/22;H01L21/67;H01L21/02 |
| 代理公司： | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人： | 李斌栋;沈寒酉 |
| 地址： | 710100 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种抛光设备和抛光方法。所述抛光设备包括：抛光台；设置在所述抛光台的上表面上的抛光垫；用于驱动所述抛光台旋转的驱动轴；设置在所述抛光台的上方空间的抛光头和喷嘴组件；其中，所述喷嘴组件包括第一喷嘴和第二喷嘴，所述第一喷嘴用于向所述抛光垫的中央区域喷洒第一抛光液，所述第一抛光液通过所述抛光台的旋转被分布在整个所述抛光垫上，所述第二喷嘴用于向所述抛光垫的边缘区域喷洒第二抛光液，以在所述边缘区域处提供大于所述中央区域处的抛光去除量。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 设备 方法 | ||
【主权项】：
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