[发明专利]一种测定超高纯石墨材料元素杂质含量的设备及其方法

摘要

本发明涉及石墨检测技术领域，具体为一种测定超高纯石墨材料元素杂质含量的设备及其方法，设备包括质谱检测台，其特征在于，质谱检测台上设有第一测试区以及第二测试区，还包括；夹持机构，夹持机构可配合安置于第一测试区或第二测试区进行辉光质谱检测，夹持机构包括：样品座、底板、按压组件、样品套环以及旋转件；方法包括样品上料、循环运输、底面测试、顶面测试、旋转驱动工序以及样品取出的工序。通过第一测试区和第二测试区对夹持机构所夹持的样品的上下两面进行两次检测，增加检测的区域，使得测试的数据平均值更加准确，并且无需将夹持机构翻转测试，结构简单实用。