[发明专利]真空镀膜前热处理吹扫设备在审
| 申请号： | 202111655565.X | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN114351085A | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 李嘉;马高;何江海;张军 | 申请（专利权）人： | 苏州吉恒纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02 |
| 代理公司： | 苏州新知行知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32414 | 代理人： | 马素琴 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空镀膜前热处理吹扫设备，包括柜体，柜体内设有工作台、吹扫机构、吸尘机构、升降机构和加热装置，工作台设置在柜体内下部位置，且由支撑架支撑，工作台上设有旋转组件，吹扫机构位于所述旋转组件上方，吸尘机构设置在吹扫机构一侧，吸尘机构和吹扫机构均与升降机构连接，升降机构位于柜体后侧壁上，加热装置设置在远离吸尘机构的柜体侧壁上。本发明通过旋转组件带动夹装的大盘支架旋转，加热装置进行加热，吹扫机构对大盘支架进行冷却吹扫，同时，吸尘机构进行灰尘收集，升降机构带动吹扫机构和吸尘机构同步升降，通过加热后迅速冷却吹扫的方式将大盘支架上涂层结合力不牢固的涂层剥离掉并被吸尘机构吸走。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 热处理 设备 | ||
【主权项】：
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