[发明专利]椭偏仪光谱浮动模型及建立方法在审
| 申请号： | 202111658726.0 | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN114324184A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 陈旺;薛英武;劳开满 | 申请（专利权）人： | 广州粤芯半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G06F30/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 钟晶 |
| 地址： | 510000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种椭偏仪光谱浮动模型及建立方法，所述方法包括：建立量测程式，对晶圆进行一次量测，并收集所述晶圆膜层的量测光谱数据；使用OLSA软件，对所述量测光谱数据进行拟合；通过编辑所述晶圆对应膜层的射散模型，增加一个谐振子，并将所述谐振子的初始值改为0；在所述量测程式输出项里面选择所述谐振子。本发明通过添加一个谐振子建立椭偏仪光谱浮动模型，与现有技术相比，采用该模型能够获得比较精确的量测结果，从而明确不同晶圆的同一膜层之间的差异、以及同一晶圆内不同位置处的同一膜层之间的差异，从而准确反应出膜层制作过程的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 椭偏仪 光谱 浮动 模型 建立 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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