[发明专利]一种智能检测光学镀膜机镀膜膜厚均匀性的系统及方法在审

专利信息
申请号: 202111658771.6 申请日: 2021-12-30
公开(公告)号: CN114322796A 公开(公告)日: 2022-04-12
发明(设计)人: 徐鸣;唐欢欢;安建昊 申请(专利权)人: 江苏微凯机械有限公司
主分类号: G01B11/06 分类号: G01B11/06
代理公司: 合肥锦辉利标专利代理事务所(普通合伙) 34210 代理人: 王利利
地址: 225000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及镀膜检测技术领域,具体为一种智能检测光学镀膜机镀膜膜厚均匀性的系统,包括镀取单元、膜识单元、云储单元、处理器、镀分理单元、镀判处单元和镀警单元;所述镀取单元用于实时采集光学镀膜机镀膜相关的数据,并将实时采集光学镀膜机镀膜相关的数据标定为实镀信息,并将实镀信息传输至膜识单元;本发明通过对镀膜的相关数据进行整合处理,处理得到相关的关联数据,依据相关的关联数据进行变量数值的分析处理,从而计算出各项数值的影响数值,并依据影响数值进行关联度计算,依据计算的数据进行比对判断,从而判定镀膜的均匀性,增加数据分析的精确性,提高工作效率。
搜索关键词: 一种 智能 检测 光学 镀膜 均匀 系统 方法
【主权项】:
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