[发明专利]一种外延炉氢气吸收系统、方法、电子设备及存储介质有效
| 申请号： | 202111665014.1 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114318518B | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 王鑫;高桑田;钟新华;仇礼钦;盛飞龙;唐卓睿;戴科峰 | 申请（专利权）人： | 季华实验室 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B23/02;C30B25/14;C30B25/16 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 陈志超 |
| 地址： | 528200 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及外延炉技术领域，具体提供了一种外延炉氢气吸收系统、方法、电子设备及存储介质，该系统包括：传送腔；存片腔，与所述传送腔连接；氢气吸收装置，设置在所述传送腔内，用于吸收所述传送腔内的氢气；氢气浓度检测装置，设置在所述传送腔内，用于采集所述传送腔内的氢气浓度信息；控制器，用于在对存片腔进行晶片上料或下料前，获取所述氢气浓度信息，还用于当所述氢气浓度信息大于或等于第一阈值时，控制所述氢气吸收装置吸收所述氢气直至所述氢气浓度信息小于第二阈值；通过氢气吸收装置吸收传送腔内的氢气，无需对反应腔执行抽真空和通入惰性气体的操作，从而有效地减少降低传送腔内的氢气浓度所需要的时间，提高外延炉的运行效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外延 氢气 吸收 系统 方法 电子设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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