[发明专利]真空系统及其作业控制方法、装置有效
| 申请号： | 202111674576.2 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114352500B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 张利静;胡艳娟;王欣 | 申请（专利权）人： | 苏州中科科美科技有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F04B41/06;F04B49/06;F04D27/00 |
| 代理公司： | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人： | 秦卫中 |
| 地址： | 215163 江苏省苏州市苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空系统及其作业控制方法、装置，属于真空系统技术领域。采用本发明的技术方案，设置真空检测组件，分别检测前级泵与分子泵之间的真空度，和，前级泵与工件预留口之间的真空度，使得前级泵开启后，当真空检测组件检测到任一真空度至少小于第一真空阈值时，向控制器发送触发信号，从而使得控制器控制管路控制器和分子泵在第二位置的管路关闭，第一位置和第三位置的管路开启时，控制分子泵启动，使得真空系统对工件预留口接入的工件进行抽真空作业，真空系统利用真空检测组件和控制器的相互配合，实现了在满足分子泵开启条件时，自动控制分子泵开启的功能，无需人为监控管路真空度以及控制分子泵开启，节约了时间，提升了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 系统 及其 作业 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
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