[发明专利]单晶硅棒的拉制方法和单晶硅棒的拉制装置在审
| 申请号： | 202111678025.3 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN116411347A | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 邓浩;杜超;李侨;韩伟;董升 | 申请（专利权）人： | 隆基绿能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/00;C30B15/14;C30B15/20;C01B33/037 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 赵娟 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种单晶硅棒的拉制方法和一种单晶硅棒的拉制装置，单晶硅棒的拉制方法包括：提供单晶炉，所述单晶炉包括：热场部件和用于放置硅料的坩埚；开启加热机构，以将所述单晶炉内的温度调节至预设温度；采用进气机构向所述单晶炉内输入至少包括含卤气体的反应气体，以使所述含卤气体与所述热场部件中的金属杂质反应，可以提高单晶硅棒的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅 拉制 方法 装置 | ||
【主权项】：
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