[发明专利]一种等离子体清洗系统有效
| 申请号： | 202111680984.9 | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN114453345B | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 曹时义;周敏;王俊锋 | 申请（专利权）人： | 广东鼎泰高科技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 侯柏龙 |
| 地址： | 523071 广东省东莞市厚*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子体清洗系统，用于清洗待处理产品，包括真空腔室、至少一组等离子体发生器、安装架和脉冲偏压电源，真空腔室具有进气口和出气口，等离子体发生器包括同轴且间隔设置的第一平板和第二平板，第一平板设有若干第一贯穿孔，第二平板设有若干第二贯穿孔，第一平板和第二平板之间具有间隙，第一平板和第二平板位于安装架；脉冲偏压电源的正极与真空腔室电连接形成阳极，脉冲偏压电源的负极与第一平板和第二平板电连接。本发明的等离子体清洗系统，在脉冲电压电场作用下，第一平板和第二平板之间的辉光区交叠，使的大量流动的气体被击穿电离，从而产生辉光等离子体，对待处理产品进行清洗，且清洗效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 清洗 系统 | ||
【主权项】：
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