[实用新型]具有较高靶材利用率的靶材组件有效
| 申请号： | 202120009271.9 | 申请日： | 2021-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN214736055U | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 胡业新;高毓康 | 申请（专利权）人： | 江苏日久光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 苏州科仁专利代理事务所(特殊普通合伙) 32301 | 代理人： | 郭杨 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有较高靶材利用率的靶材组件，包括多个靶材和底座，多个所述靶材包括两个位于所述底座相对两侧边部的边部靶材、固定于两个所述边部靶材之间的多个中间靶材，每个所述边部靶材的厚度分别厚于每个所述中间靶材，所述边部靶材与所述中间靶材磁控溅射面相齐平，充分利用中间的残余厚度，不浪费残靶，提高制程的保养周期，提高靶材的利用率，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 较高靶材 利用率 组件 | ||
【主权项】：
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