[实用新型]一种固晶机用漏晶检测结构有效

专利信息
申请号: 202120019059.0 申请日: 2021-01-06
公开(公告)号: CN213752645U 公开(公告)日: 2021-07-20
发明(设计)人: 温炜;朱辉;罗凯 申请(专利权)人: 深圳市晨微技术有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/66
代理公司: 合肥汇融专利代理有限公司 34141 代理人: 朱朝明
地址: 518101 广东省深圳市宝安区西乡街*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种固晶机用漏晶检测结构,属于晶体检测设备技术领域。一种固晶机用漏晶检测结构,包括传送机,所述传送机上从左至右依次设有固晶机本体、检测器、三轴移动机构、补晶机,所述三轴移动机构的底部固定连接有安装箱,所述安装箱内固定连接有第一气管,所述安装箱的底部固定连接第二气管,所述第一气管位于第二气管内,所述第一气管的输入端与第二气管的输出端相配合,所述安装箱内固定连接加热网,所述加热网与第二气管的输入端相配合;本实用新型对贴歪的晶片进行加热,并将其进行回收再利用,从而节省生产成本,通过机械对贴歪的晶片进行回收,从而避免对其他贴好的晶片造成影响。
搜索关键词: 一种 固晶机用漏晶 检测 结构
【主权项】:
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