[实用新型]一种晶圆切割环的尺寸检验工装有效
| 申请号： | 202120020104.4 | 申请日： | 2021-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN213902253U | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 蒋松杰 | 申请（专利权）人： | 苏州恩斯贝格精密机械有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 温州知远专利代理事务所(特殊普通合伙) 33262 | 代理人： | 汤时达 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶圆切割环的尺寸检验工装，包括底座，底座上设有凹槽，凹槽两端分别为晶圆切割环的插入口，凹槽两侧设有定位组件，两组定位组件相对设置，所述定位组件包括调节部，滑动部和弹簧，所述调节部设有腰形孔，调节部与底座通过螺钉连接，螺钉穿设在腰形孔中，所述滑动部与调节部连接，滑动部与调节部之间设有弹簧，所述调节部设有凹陷部，滑动部设置在凹陷部中，滑动部上设有测距传感器。本实用新型的一种晶圆切割环的尺寸检验工装能够便于对晶圆切割环的尺寸进行检验，提升检测效率；此外，能够适用于不同尺寸的晶圆切割环，适用性更广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 切割 尺寸 检验 工装 | ||
【主权项】：
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