[实用新型]一种太阳能电池硅片低压扩散镀膜设备

摘要

本实用新型公开了一种太阳能电池硅片低压扩散镀膜设备，属于电池片生产设备技术领域，一种太阳能电池硅片低压扩散镀膜设备，包括扩散炉体，扩散炉体的内壁上固定有多组呈环形分布的支撑架，扩散炉体的内部中心处设有竖直设置的气体扩散管，扩散炉体的内底部中心处固定有轴承座，气体扩散管的底端与轴承座转动连接，气体扩散管的外壁上开设有多个气体扩散孔，且多个气体扩散孔呈环形分布，气体扩散管的顶端贯穿扩散炉体顶端设置，且气体扩散管与扩散炉体的接触处设有第二密封轴承，可以实现利用转动的气体扩散管将反应气体在扩散炉体内部均匀扩散，提高气体扩散效率，使反应气体分布均匀，有效避免因气体扩散不均匀影响扩散质量的现象。