[实用新型]薄形光阻成形系统及薄形光阻成形设备有效
| 申请号： | 202120102252.0 | 申请日： | 2021-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN214320750U | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 林刘恭 | 申请（专利权）人： | 光群雷射科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/02;G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 李佳佳 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了薄形光阻成形系统及薄形光阻成形设备。薄形光阻成形系统用来对转印滚轮的外表面喷涂光阻层，其包括：雾化腔室；及薄形光阻成形设备，设置于雾化腔室中，薄形光阻成形设备包含：滚轮固定装置；及雾化装置，邻近滚轮固定装置设置，且雾化装置包含至少一个雾化器以及对应至少一个雾化器设置的溶液槽；其中，溶液槽中容纳有水性光阻溶液，并且至少一个雾化器用来朝向所述雾化腔室雾化水性光阻溶液。本实用新型的有益效果在于，薄形光阻成形系统及薄形光阻成形设备能通过“雾化装置用来使雾化的水性光阻溶液在外表面上形成光阻层”的技术方案，减少光阻层在外表面上形成的时间和光阻层的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 薄形光阻 成形 系统 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于光群雷射科技股份有限公司，未经光群雷射科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202120102252.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种不锈钢熔铸装置
- 下一篇：一种防护完善的缓震电子秤
