[实用新型]一种CMP抛光垫压缩比测量装置有效
| 申请号： | 202120106109.9 | 申请日： | 2021-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN214309936U | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 吕俊园;黄振坤;黄学良 | 申请（专利权）人： | 湖北鼎汇微电子材料有限公司;湖北鼎龙控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N3/12 | 分类号： | G01N3/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 430057 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种CMP抛光垫压缩比测量装置，包括：支撑装置(1)、调节装置(2)、测量装置(3)和计算装置(4)，所述测量装置(3)包括：电缸(31)、扁担(32)、两根第一导向轴(33)和两根第二导向轴(34)，第一砝码(35)、第二砝码(36)、指示表(37)和平面测头(38)，其中，电缸(31)位于扁担(32)之上，所述扁担(32)通过螺栓与第一导向轴(33)和第二导向轴(34)连接，所述第一导向轴(33)用于第一砝码(35)的固定，采用自动数据采集和计算系统，可有效降低人为读数的误差，节约人力成本，且底部台架使用真空吸附式设计，可通过控制真空吸附的压力，降低测量误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cmp 抛光 压缩比 测量 装置 | ||
【主权项】：
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