[实用新型]一种用于金刚线切割多晶硅片的制绒槽有效

专利信息
申请号: 202120124438.6 申请日: 2021-01-18
公开(公告)号: CN213752662U 公开(公告)日: 2021-07-20
发明(设计)人: 郭万武;康海涛;樊选东;关统洲 申请(专利权)人: 中建材浚鑫科技有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/306;H01L31/20
代理公司: 无锡坚恒专利代理事务所(普通合伙) 32348 代理人: 赵贵春
地址: 214400 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种用于金刚线切割多晶硅片的制绒槽,包括用于输送硅片的输送架和顶部敞口的槽体,输送架包括多个并排分布且转动设置于槽体内的下滚轮,下滚轮的上方设置有与其转动方向相反的上滚轮,上滚轮和下滚轮之间设置有供硅片通过的间隙,上滚轮的外侧壁上密布有凸起,槽体内滑动设置有浮动件,浮动件用于调节上滚轮和下滚轮之间的间隙。该用于金刚线切割多晶硅片的制绒槽通过浮动件支撑转动的下滚轮,方便下滚轮上下滑动,调节其与上滚轮的间隙,实现硅片的稳定传输,避免硅片过度受挤压而损坏,并通过凸起打散制绒时硅片下表面的气泡,使反应液充分与硅片接触,保证生成绒面的均匀性,并减少硅片上的滚轮印,提高产品质量。
搜索关键词: 一种 用于 金刚 切割 多晶 硅片 制绒槽
【主权项】:
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