[实用新型]胶带卷收装置有效
申请号: | 202120135413.6 | 申请日: | 2021-01-19 |
公开(公告)号: | CN214326617U | 公开(公告)日: | 2021-10-01 |
发明(设计)人: | 邱圣恩;蔡子玮;李威震 | 申请(专利权)人: | 辛耘企业股份有限公司 |
主分类号: | B65H18/08 | 分类号: | B65H18/08;B65H18/02;B65H16/02;B08B1/00 |
代理公司: | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人: | 史瞳;谢琼慧 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种胶带卷收装置,用以传送胶带以黏附微粒而清洁晶圆表面,并包含承载架及设于承载架的传送单元、清洁单元、导向单元及张力调整单元。传送单元包括出料机构及收料机构,以供胶带自出料机构输出且由收料机构卷收而形成传送路径。张力调整单元包括设于承载架且沿上下方向延伸的轨道、可滑动地设于轨道的滑动座、设于滑动座并能连动滑动座且位于传送路径上的滑轮,及设于滑动座并与滑动座连动的配重体,配重体的重量与传送胶带时的预设张力相适配,且滑轮下侧与胶带接触。随着滑轮位置的动态调整,能使胶带保持固定张力。 | ||
搜索关键词: | 胶带 装置 | ||
【主权项】:
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