[实用新型]一种扫描电子束机器载台有效
| 申请号： | 202120139758.9 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN214322162U | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 魏德强;董玉健;王荣;胡双婷;刘宏泉;李新凯;任旭隆;王启超 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | B23K15/00 | 分类号： | B23K15/00;B23K15/08 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 陈熙 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种扫描电子束机器载台，包括基板、摆动机构、载板和移动机构；所述基板通过摆动件可上下摆动的安装在工作台上；所述摆动机构安装在工作台上且对应所述基板下方的位置，其连接并驱动所述基板上下摆动；所述载板处于所述基板的上方且用于放置工件，所述移动机构固定在所述基板上，并且所述移动机构连接并驱动所述载板相对所述基板水平移动。该载台的有益效果是：(1)结构新颖，设计合理，安装简单；(2)实现载板上下摆动一定角度，进而实现工件和扫描头成可变角度，扫描带斜面的工件；(3)实现载板在水平面内任意移动，配合电子束扫描头的移动，采用与载板同相移动和相向移动来扩大扫描头相对工件的移动速度的调节范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 电子束 机器 | ||
【主权项】：
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