[实用新型]一种用于镀膜的蒸镀装置有效
| 申请号： | 202120149790.5 | 申请日： | 2021-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN214271023U | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 周鹏;张万财 | 申请（专利权）人： | 厦门海辰新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 成都帝鹏知识产权代理事务所(普通合伙) 51265 | 代理人： | 李华 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市火炬高新区*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于镀膜的蒸镀装置，包括坩埚本体、电涡流线圈和感应加热电源，所述坩埚本体包括方形坩埚和圆形坩埚，在方形坩埚底部连通集成有圆形坩埚，在所述圆形坩埚上包裹有电涡流线圈，所述电涡流线圈连接感应加热电源。本实用新型既能够保证蒸镀时膜面镀层均匀性，又能提高生产产品的产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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