[实用新型]一种硅片双面磨光设备有效
| 申请号： | 202120153653.9 | 申请日： | 2021-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN214979778U | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 陈锋;沈国君;陆勇;刘太盛 | 申请（专利权）人： | 浙江众晶电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B7/17;B24B41/06;B24B41/00 |
| 代理公司： | 温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙) 33390 | 代理人： | 钱磊 |
| 地址： | 324300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及硅片加工技术领域，且公开了一种硅片双面磨光设备，包括磨光机本体，所述磨光机本体的内部设有限位装置，所述限位装置包括第一安装槽、第一磁铁和游星轮盘。该硅片双面磨光设备，通过设置第一安装槽、第一磁铁、从动轴，连臂、收取盘、第二安装槽、第二磁铁、驱动轮盘、驱动轴、皮带、伺服电机、链条、联动轴和联动轮，当需要从游星轮盘中取出硅片时，可启动伺服电机带动驱动轮盘转动，使得四个联动轮转动，四个联动轮通过各个链条分别带动四个收取机构转动，使得收取盘带动第二磁铁转至游星轮盘的正上方，第一磁铁与第二磁铁相互吸引，使得游星轮盘被吸附，解决了当前的硅片双面打磨机不便于从游星轮盘中拿取硅片的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 双面 磨光 设备 | ||
【主权项】：
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