[实用新型]一种用于小规格晶棒的线切割设备有效
| 申请号： | 202120157581.5 | 申请日： | 2021-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN215319764U | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 山本晓;张海涛;刘良宏;许彬;庞博 | 申请（专利权）人： | 无锡吴越半导体有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04 |
| 代理公司： | 北京华际知识产权代理有限公司 11676 | 代理人： | 刘秀颖 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于小规格晶棒的线切割设备，涉及晶棒切割技术领域，该用于小规格晶棒的线切割设备，包括底座，所述底座的顶部通过支杆安装有顶板，所述顶板的顶部固定有电动伸缩杆，且电动伸缩杆的底端延伸至顶板的下啊连接有升降座，所述升降座的两侧均转动安装有导轮，且其中一个导轮的后表面连接有切割马达，所述切割马达栓接于升降座的后表面，该用于小规格晶棒的线切割设备，线锯接触晶棒前压固片抵触晶棒，通过两个磁片的排斥力对晶棒进行压紧，避免进行线切割时，晶棒料即将被切透晶棒料因不能承受该作用力而裂开，保证了切割质量，解决了晶棒切割需专门夹具固定，同时不便切割后的晶棒进入下道流程加工的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 规格 切割 设备 | ||
【主权项】：
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