[实用新型]一种扩散炉清洗装置有效
| 申请号： | 202120165784.9 | 申请日： | 2021-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN214488107U | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 陈康;刘四化;王宜 | 申请（专利权）人： | 无锡瑞达半导体专用设备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B9/023 |
| 代理公司： | 南京常青藤知识产权代理有限公司 32286 | 代理人： | 毛洪梅 |
| 地址： | 214064 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种扩散炉清洗装置，包括装置本体，装置本体上设有设备安装台，设备安装台上设有清洗槽，清洗槽两侧设有支撑柱，支撑柱上设有支架，支架包括支架盘，支架盘一侧设有支架轴，支架盘另一侧设有扩散炉管固定架，两侧扩散炉管固定架方向相对，两个扩散炉管固定架间设有扩散炉管，扩散炉管与清洗槽匹配，支架轴设在支撑柱上，支架轴外侧设有驱动电机，驱动电机设在电机支架上，电机支架设在设备安装台上；清洗槽侧壁设有喷水孔，喷水孔与水泵连接，水泵设在设备安装台上；清洗槽上还设有进水管和出水管，进水管与清洗剂存储箱上的电动阀门连接，出水管上设有排水电动阀，排水电动阀与污水收集箱连接，清洗槽连接有超声波发生器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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