[实用新型]一种气浮转盘装置

摘要

本实用新型涉及硬脆材料晶圆减薄机的转盘装置，尤其涉及一种气浮转盘装置。包括机架，机架上端面设有旋转盘定中轴，气浮呈扇环形，有三个均匀分布于以旋转盘定中轴为中心的圆周上；气浮式旋转盘中心开有通孔，通孔顶端设有封盖，旋转盘定中轴顶部设于通孔内并通过轴承相连；机架上还设有同步带轮和惰轮，伺服电机设于机架上并与同步带轮相连，同步带绕设过气浮式旋转盘外缘和惰轮并与同步带轮相连；气浮旋转盘旁侧的机架上还设有多个传感器，用于检测气浮式旋转盘的转动角度。本实用新型减小了转盘启动时的转动惯量，能有效延长皮带的寿命。旋转盘的定位精度更高。转盘上设置的传感器能检测到转盘的转动角度，保证转盘转动角度的精确性。