[实用新型]一种抗静电半导体芯片切割保护膜有效
申请号: | 202120232730.X | 申请日: | 2021-01-26 |
公开(公告)号: | CN214830056U | 公开(公告)日: | 2021-11-23 |
发明(设计)人: | 陆扬;景海全 | 申请(专利权)人: | 东莞市清鸿新材料科技有限公司 |
主分类号: | C09J7/24 | 分类号: | C09J7/24;C09J7/30;C09J7/50;C09J133/04;C09J9/02;C09D175/04;C09D5/24;C09D183/04;C08J7/044;C08L27/06 |
代理公司: | 北京瑞盛铭杰知识产权代理事务所(普通合伙) 11617 | 代理人: | 黄淑娟 |
地址: | 523843 广东省东莞市长*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了芯片切割保护膜技术领域,具体领域为一种抗静电半导体芯片切割保护膜,包括抗静电离型涂层、PVC蓝膜,蓝膜保护底涂和抗静电亚克力胶层,具有柔韧性好,耐高温,易于晶圆扩晶、晶圆切割,在扩晶和切割中能消除摩擦产生的静电,其中蓝膜保护底涂的设置,能够一定程度上防止PVC蓝膜中增塑剂析出渗入胶层,提高PVC蓝膜耐高温和耐溶剂性,且使PVC蓝膜不易收缩,抗静电亚克力胶层剥离强度稳定且耐高温180℃,抗静电。使用PVC蓝膜能醒目、有效识别该保护膜,方便使用。本实用新型保护膜,总厚度为80±2um,剥离强度为100±20gf/inch,不残胶,抗静电阻值106~109Ω,离型力20gf/inch。 | ||
搜索关键词: | 一种 抗静电 半导体 芯片 切割 保护膜 | ||
【主权项】:
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