[实用新型]一种插片导向夹具有效
| 申请号： | 202120238426.6 | 申请日： | 2021-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN213878057U | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67;H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 秦广成 |
| 地址： | 242074 安徽省宣城市经济*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及硅片清洗装置技术领域，具体涉及一种插片导向夹具。一种插片导向夹具，包括：导向板，用于安装于花篮的侧边并对花篮的卡槽进行延伸限位，导向板上间隔设有多个导向片，导向片与花篮的卡槽对应；固定件，设置于导向板的相对两端，用于将导向板安装于花篮上。本实用新型提供的一种插片导向夹具，利用设于导向板上的导向片对插入硅片支撑杆上的卡槽内的硅片提供导向，保证硅片顺利的由一个硅片支撑杆上的卡槽插入另一硅片支撑杆上相对应的卡槽，避免硅片在插入时发生歪斜，因此，避免了由于硅片的歪斜导致的硅片的摩擦划伤、崩边缺角以及相邻硅片的粘连，不仅降低了硅片的插片不良率，而且提高了插片效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 导向 夹具 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
