[实用新型]一种工艺设备有效
| 申请号： | 202120253417.4 | 申请日： | 2021-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN214099642U | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 薛异荣 |
| 地址： | 242074 安徽省宣城市经济*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种工艺设备，包括工艺腔体、冷却单元、第一传输单元、传送带和第二传输单元。第一传输单元将具有较高温度的晶圆从工艺腔体中传输至冷却单元进行冷却，随后通过第二传输单元将冷却后的晶圆传送至传送带上。由于冷却后的晶圆具有较低的温度，因此晶圆背面不会与传送带发生反应，从而避免了晶圆背面残留有机物，进而避免了在太阳能电池中引入缺陷，降低了太阳能电池内部发生载流子复合的概率，从而提高了太阳能电池的开路电压和光电转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工艺设备 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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