[实用新型]一种布气装置和镀膜装置有效
| 申请号： | 202120254861.8 | 申请日： | 2021-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN214327868U | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人： | 张奕轩;彭一波 |
| 地址： | 242074 安徽省宣城市宣城经*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供了一种布气装置和镀膜装置，属于气相沉积技术领域，具体包括固定板，固定板上设置有布气腔组，布气腔组包括多个布气腔，布气腔的腔壁上设有进气口，以及与进气口连通的多个散气口，进气口用于向布气腔引入外部气源，多个散气口均位于布气腔的同一侧且均匀分布。通过本申请的处理方案，使气体粒子均匀的轰击在靶材上，提高形成膜层的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 镀膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙），未经宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙）许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202120254861.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
