[实用新型]一种磁控溅射真空镀膜机有效

专利信息
申请号: 202120258709.7 申请日: 2021-01-29
公开(公告)号: CN214327869U 公开(公告)日: 2021-10-01
发明(设计)人: 谢学东;谢辉东 申请(专利权)人: 丹阳市宝来利真空机电有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/50
代理公司: 盐城市苏知桥知识产权代理事务所(普通合伙) 32439 代理人: 耿丹丹
地址: 212300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及真空镀膜机技术领域,且公开了一种磁控溅射真空镀膜机,包括底座,所述底座的顶部固定安装有设备外壳,所述底座顶部的右侧固定安装有第一电机。该磁控溅射真空镀膜机,当需要进行镀膜喷涂时,左拉拉杆,由推环推动挤压弹簧被压缩,通过挤压弹簧所产生的挤压回弹,使得零件被固定,接着将第二电机打开,使螺纹杆转动,移动块左右移动,带动磁控喷射头左右移动,即可对下端的零件喷涂,在喷涂过程中,将第一电机启动,使蜗杆转动,通过啮合带动蜗轮旋转,使得转杆转动,从而带动转动架转动,使得零件可以旋转,配合控喷射头的左右移动喷涂,使得零件的表面可以快速覆盖,喷涂效率非常高。
搜索关键词: 一种 磁控溅射 真空镀膜
【主权项】:
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