[实用新型]一种钽环溅射防护罩有效
| 申请号： | 202120316109.1 | 申请日： | 2021-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN214937778U | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;冯周瑜;杨广 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种钽环溅射防护罩，所述钽环溅射防护罩包括第一空心部和第二空心部；所述第一空心部为渐缩结构，内壁为斜面，所述斜面与水平面的夹角为91‑96°；所述第一空心部中渐缩结构的小端和第二空心部连接；所述第二空心部为凹型结构；所述第二空心部中凹型结构的底部设置有凸部；所述凸部为空心结构；所述钽环溅射防护罩的内表面设置有花纹。本实用新型提供的钽环溅射防护罩通过特定结构的增加如设置斜面和底部的凸空心结构，杜绝了溅射镀膜过程中溅射附着物的异常掉落，防止待镀物品的污染，使得镀膜更加均匀。同时通过设置花纹结构增加接触面积进一步防止溅射附着物的掉落。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 防护罩 | ||
【主权项】：
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